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        TSV拋光液---半導體3D封裝技術Slurry

        文章出處:責任編輯:人氣:-發表時間:2023-05-25 14:04【

          TSV全稱為:Through -Silicon-Via,中文譯為:硅通孔技術。它是通過在芯片和芯片之間、晶圓和晶圓之間制作垂直導通;TSV技術通過銅、鎢、多晶硅等導電物質的填充,實現硅通孔的垂直電氣互連,實現芯片之間互連的最新技術。TSV也是繼線鍵合(Wire Bonding)、TAB和倒裝芯片(FC)之后的第四代封裝技術。

          TSV工藝的優勢:可以通過垂直互連減小互聯長度,減小信號延遲,降低電容電感,實現芯片間的低功耗,高速通訊,增加寬帶和實現器件集成的小型化。

        半導體3D封裝技術拋光液,吉致電子Slurry

        吉致電子JEEZ用于3D封裝TSV化學機械拋光液

        可定制選擇穩定的選擇比,去除速率,對氧化物/氮化物的選擇比。硅精拋液系列具有低缺陷的優點。Cu拋光液系列具有理想的硅和二氧化硅去除速率和選擇比。涵蓋TSV銅/阻擋層Slurry,TSV晶背銅/介質層拋Slurry、TSV晶背硅Slurry、TSV晶背硅/銅Slurry等。具有高去除速率、選擇比可調等優點。以及集成電路制造工藝中淺槽隔離的拋光等等。

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